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2021年11月26日
东丽工程株式会社
东丽工程株式会社在上海设立半导体检测试验室

  11月18日,东丽集团旗下东丽工程株式会社(Toray Engineering Co., Ltd.)的日本子公司TASMIT公司和中国分公司上海华丽工程技术有限公司在上海的半导体晶圆外观检测试验室正式启动。为了强化东丽半导体晶圆光学外观检测设备在海外的事业的拓展,且为了更大限度地满足日本海外市场急速增长的半导体器件检测需求,此次在中国上海落户300平米的检测试验室是继2020年5月在中国台湾打造的200平米试验室后,东丽工程株式会社的又一壮举。   启动当天,该检测试验室的落址区,即东丽工程株式会社在华的分公司——上海华丽工程技术有限公司的浦东第二分公司同时正式揭牌成立。当天,由上海华丽董事长兼总经理董刚先生和TASMIT公司在华代表佐藤上级经理出席,共同开启在华事业发展的新一步。

新公司成立剪彩

新公司成立剪彩

新公司开幕仪式

新公司开幕仪式

  值得一提的是,在检测试验室中引入的尖端设备是现东丽工程株式会社在半导体晶圆光学外观检测领域的主力机型INSPECTRA 3000SR-Ⅲ300,它具有业界最快检测速度,可以实现生产检测中所需的全检要求。当下,不但车载用功率器件对产品品质要求十分严苛,其他半导体器件生产对品质要求也越来越高。INSPECTRA检测设备的可以有效且高效地帮助半导体器件的品质提升。   面对半导体行业的瞬息万变,早在20年前,东丽就清晰认识到:今后,对于产品品质的要求将不局限满足自动抽检,全检将成为必然趋势。秉持长期经营视角,东丽早早地开始领先于其他厂商,将提高半导体晶圆检测速度从而实现高速化检测作为课题,不断致力于开发和研究。本次,检测试验室中的展示机INSPECTRA 3000SR-Ⅲ300是目前东丽半导体晶圆光学外观检测设备中的最新机型。它实现了2倍速的提升,在最合适的条件下,每小时检出量达到170片,堪称业界检测速度之最。由于高速检测能力,可以实现生产中的全检,很好地匹配了车载半导体功率器件行业对品质严格把控的全检要求。

检测试验室

检测试验室

INSPECTRA 3000SR-Ⅲ300

INSPECTRA 3000SR-Ⅲ300

  此设备使用了良品学习建模(DIS比较法)检测由于生产工艺变化造成的品质变化,实现了良好的品控。同时也由于采用DIS比较法,避免过检,漏检的发生。此设备在日本国内的市场份额高达70~80%,今后以中国,韩国等为主的日本海外市场的增长潜力巨大。 在日本外的检测试验室设立前,只有日本瀬田事务所(位于滋賀县大津市)中才有展示机,海外客户有检测需求时,只能远渡重洋,或是通过邮寄来,测评检测结果是否满足工艺要求。但是由于待测晶圆中往往承载着客户公司最新的研发技术,对于海外送检测评持有谨慎态度的客户也不占少数。且深受新冠疫情影响,日本外的客户很难实现跨国出差送检。为了解决上述问题,提高海外检测测评服务,本次将大型示范检测室选址在了需求日益上涨的中国。最新机型3000SR-Ⅲ300 及其洁净室等配套设施的投资高达近2亿日币。