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2019年12月4日
総務部広報宣伝課
半導体検査・計測装置事業に関する新会社設立についての発表

 東レエンジニアリング株式会社(本社:東京都中央区、代表取締役社長:岩出 卓、以下東レエンジニアリング)は、半導体検査装置事業を会社分割し、子会社である株式会社NGR(本社:神奈川県横浜市、代表取締役社長:堺澤秀行、以下NGR)が継承します。NGRはこれを機に会社名をTASMIT株式会社に変更し、東レエンジニアリンググループの半導体検査・計測装置事業を担う会社としてスタートします。 ■ 東レエンジニアリングとNGRの半導体検査・計測装置事業について  東レエンジニアリングは、後工程向けウエーハ外観検査装置「INSPECTRA」(インスペクトラ)シリーズを1990年から事業化し、これまでに累計400台の出荷実績があります。特に300mmウエーハを3μm感度で時間当たり100枚の検査が可能なことから、全数・全面検査が求められる車載用半導体分野で高いシェアを誇ります。  NGRは2000年に設立、2014年に東レエンジニアリングと資本・業務提携を締結し、2017年に東レエンジニアリングの子会社となりました。主力製品の半導体ウエーハパターン検査装置「NGR3500」シリーズは、Die to Databaseアルゴリズムをベースとし、広視野電子顕微鏡画像を利用することでパターン欠陥の高感度検査、パターン寸法の2次元多点計測を実現しました。これまでにR&Dラインで累計30台の稼働実績があり、今後は量産ラインへの導入が期待されます。 ■ 今後について  今回の半導体検査・計測装置事業の再編により、部品の共通化によるコストダウン、ソフトウエア開発の一元化による開発スピードアップ、販売代理店の統合や営業リソースの効率化を進めます。  2019年度の売り上げ見込みは、「INSPECTRA]シリーズ及び「NGR3500」シリーズを合わせ約90億円ですが、今後は再編によるシナジー効果や新規分野への市場開拓を進め2021年度には100億円規模を目指します。   【本件に関するお問い合せ】 □東レエンジニアリング株式会社 広報宣伝課:小西研一(Mail:kenichi_konishi@toray-eng.co.jp) 住所:東京都中央区八重洲1丁目3番22号 八重洲龍名館ビル TEL:03-3241-1546 FAX:03-3241-1553 URL https://www.toray-eng.co.jp 以上